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北方华创硅外延APCVD设备荣获“第十二届中国半导体创新产品和技术项目”奖

www.p-e-china.com 2018/4/17 10:58:44 来源:互联网 电力电子论坛|免费发布产品

   4月12日,北方华创微电子自主开发的硅外延APCVD设备荣获“第十二届中国半导体创新产品和技术项目”奖。

 

    北方华创微电子硅外延APCVD设备应用于功率半导体和集成电路领域,兼容6吋和8吋硅外延片的生产,适用于厚度5-130um范围的N型和P型外延工艺,具有成膜均匀性好、产能高、兼容性好、自动化程度高、占地面积小等优点。设备各项指标达到国际先进技术水平,填补了国内高性能硅外延CVD设备空白,产品已进入商业化应用阶段,实现了批量销售。

 

    “中国半导体创新产品和技术项目”奖旨在鼓励半导体产业界的科技创新活动,评选活动由中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会和中国电子报社共同组织。

 

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