其基本原理是：依靠熔体的表面张力，使熔区悬浮于多晶硅棒与下方生长出的单晶之间，通过熔区向上移动而进行提纯和生长单晶。
现代区熔炉的特点：
(1)高大的不锈钢炉室，炉子总高度达到7～8m以上。
(2)上下轴行程长达1.5～2m，可生产长单晶。
(3)特殊设计的单匝高频线圈，甚至有活动可分离式线圈。
(4)高频发生器功率达60kw以上，振荡频率为2～2.5MHz。
(5)自动化程度高，采用计算机进行数据采集和处理。
(6)具有晶体夹持机构。
(7)电极筒为移动式的。
(8)具有高纯氩循环使用系统和冷却水循环系统。
