2015年11月,基于长期批量生产凸显出的优良工艺性能和稳定性,北方微电子自主研发的NMC612系列12英寸硅刻蚀机得到了国内最先进的集成电路芯片代工企业的认可,成为了浅沟槽刻蚀Baseline机台。这是对国产半导体设备的极大肯定,同时也意味着国产半导体设备商向打破国际半导体设备商的长期垄断又迈出了重要一步。
北方微电子自主研发的NMC612系列硅刻蚀机可进行12英寸90-28nm集成电路硅刻蚀及相关工艺,其优良的性能得到了客户的认可。NMC612系列刻蚀机自2013年底开始在客户工厂进行浅沟槽刻蚀批量生产,截止到目前已累计量产产品片达数万片,长期的验证表明机台的工艺性能及稳定性均能满足国际大生产线的要求,可满足高均匀性、低损伤和低缺陷、精确尺寸和形貌控制、低颗粒污染、高Throughput等要求。
北方微电子自主研发的NMC612系列硅刻蚀机是目前国内经过12英寸IC产品量产验证的最先进的硅刻蚀设备,在硬件设计上突破多项关键技术;在软件方面自主设计研发,注重用户体验,力求给用户提供最优化的操作界面;在售后服务上,以客户需求至上为理念,可及时有效的响应,并进行持续提升。此外,专业的研发团队可根据客户的需求迅速对硬件及软件进行优化升级,为客户量身打造一套专业的半导体设备的服务方案。
北方微电子秉承持续创新的理念,紧跟国际先进制程,为全面满足客户制程需求不断努力。公司自主研发的NMC612系列硅刻蚀机成为中国主流集成电路代工厂浅沟槽刻蚀的Baseline机台,是对北方微电子公司刻蚀装备先进性和可靠性的认可,也是对国产芯片设备商的鞭策和鼓励。北方微电子将再接再厉,不断探索,进一步为全球客户制造 “芯”梦想的愿景提供更重要的支撑。